왕밍 VMS 시리즈
● X/Y측정범위(mm) : 200*100 / 300*200 / 400*300 / 500*400
● Z축 측정범위 : 유효 공간 245mm , 포커싱 스트로크 200mm , 작동거리 95mm
● 정밀도 : ≤3µm + L/200
● 반복정밀도 : ≤3µm + L/200
● 분해능 : 0.0005mm (0.5µm)
● CCD CAMERA : 일본 SONY High Resolution Color Camera CCD 1/3" 800TV
● ZOOM LENS : 0.7 X - 4.5 X (Manual Zoom)
● 전체배율 : 30 X - 230 X (22" Flat LCD Monitor)
● 조명 시스템 : Bottom Light(하부조명)_콘트롤 고휘도 LED 조명
Surface Light(8개 LED분할 상부 조명)_콘트롤 고휘도 LED 조명